| 昔の仕事 |
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インターネット上で引っかかるものをいくつかピックアップしてみた 特許 Proximity effect correction method for charged particle beam exposure 論文 Stochastic Coulomb interaction effect in ion-neutralized electron-beam projection opticsProximity effect correction using pattern shape modification and area density map http://link.aip.org/link/?JVTBD9/21/2663/1 http://scitation.aip.org/getabs/servlet/GetabsServlet?prog=normal&id=JVTBD9000019000006002572000001&idtype=cvips&gifs=yes http://scitation.aip.org/getabs/servlet/GetabsServlet?prog=normal&id=JVTBD9000018000006003150000001&idtype=cvips&gifs=yes
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| 最終更新 2007年 4月 02日(月曜日) 12:03 |